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等离子体中有以下物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、自由基;电离的原子和分子;分子解离反应产生的紫外线;分子、原子等,如果路滑 如何提高附着力但整体上物质是电中性的。

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施加到电极上的负偏压与射频电压一起形成复合电压,如下图所示。图 4. 电极上的直流和交流波形 2.1 对 VDC 元件的影响 2.1.1 混响腔尺寸和蚀刻模式 VDC 是电极和等离子体之间的电压降。 A1为电极1的面积。 ,A2为电极2的面积,N为指数因子,通常为1,如果电极1通电,电极2接地,这个方程是任意的,其VDC组成如下图所示。可以应用到电极结构。

整个清洗工艺流程几分钟内即可完成,因此具有产率高的特点; 六、等离子清洗需要控制的真空度约为 Pa,这种清洗条件很容易达到。

工作时,先用真空泵将腔体内的空气吸出,形成真...

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